生産システムと自動化設備の開発
グローバルマシーナリー株式会社 − 生産システムと自動化設備の開発
グローバルマシーナリー株式会社 − 生産システムと自動化設備の開発

ホーム 当社について 製品紹介 技術紹介 アクセスMAP お問い合わせ

ホーム > 製品紹介 > 薄膜形成装置

製品紹介


薄膜形成装置

透明導電膜形成装置 KM-150

透明導電膜形成装置 KM-150 噴霧熱分解薄膜形成法により大気中で短時間,
安価に均一な薄膜形成が可能

■特徴

・異なった溶液の噴霧による積層成膜が可能
・原料溶液噴霧系を3系統装備
・噴霧液滴の粒径可変
・噴霧ノズル−基板距離の調節可能
・テフロン加工による反応室の腐食防止化
・自動運転が可能

■基本仕様

・基板サイズ:最大150mm×150mm
・基板温度:最高700℃
・電源:AC200V 三相
・空圧源:圧力 0.6MPa以上
・排気:接続口径 65mm 3u/min以上
・設置環境:温度 10〜40℃湿度 20〜60%
・寸法:(横)1315mm×(奥行)940mm×(高)1900mm
・重さ:約 630kg


卓上型透明導電膜形成装置 KM-25

卓上型透明導電膜形成装置 KM-25 噴霧熱分解薄膜形成の入門モデル

■特徴

・原料溶液1系統装備
・噴霧液滴の粒径可変
・噴霧ノズル−基板距離の調節可能
・テフロン加工による反応室の腐食防止化
・自動運転が可能

■基本仕様

・基板サイズ:最大25mm×25mm
・基板温度:最高600℃
・電源:AC100V 単相
・空圧源:圧力 0.6MPa以上
・排気:接続口径 50mm×4
・設置環境:温度 10〜40℃湿度 20〜60%
・寸法:(横)400mm×(奥行)530mm×(高)783mm
・重さ:約 60kg

※ 販売窓口 : (株)SPD研究所 http://www.spdlab.com/


お気軽にお問い合わせ下さい。
TEL  : 0463-75-3321(代表)
FAX  : 0463-75-3340
e-mail : post@global-machinery.co.jp



ホーム | 当社について | 製品紹介 | 技術紹介 | アクセスMAP | お問い合わせ


Copyright (C) GLOBAL MACHINERY CO.,LTD All right reserved.