生産システムと自動化設備の開発
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製品紹介


UVナノインプリント装置

R&D向けUVナノインプリントシステム WP-1000

R&D向けUVナノインプリントシステム WP-1000 ■特 徴

2P製法による薄膜形成が可能
丸形ワーク,ウエハー,角形ワーク表面へ精密層の形成が可能
薄膜形成用ワーク ( Glass, Polycarbonate, Epoxy等々 ) への対応が可能
高精度の膜厚制御コントロール ( 100μm±1.0μm ) が可能


 




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